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CVD管式爐在使用前要做好哪些準(zhǔn)備工作?

更新時(shí)間:2022-06-13    點(diǎn)擊次數(shù):3265
  CVD管式爐是一款在沉底材料上生長(zhǎng)高質(zhì)量石墨烯、碳納米管、碳化硅的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于在半導(dǎo)體、納米材料、碳纖維、碳化硅、鍍膜等新材料新工藝領(lǐng)域。
 

 

  CVD管式爐的使用方法:
  準(zhǔn)備工作:
  1、設(shè)計(jì)升降溫曲線,升溫速率不得高于10℃/分鐘,降溫速率應(yīng)低于15℃/分鐘。
  2、清掃環(huán)境。
  3、每周開(kāi)始使用時(shí),檢查機(jī)械泵油線處于標(biāo)線以上,拆除兩端蓋,用吸塵器清潔剛玉爐管。
  4、將樣品舟推入剛與管爐膛中部(恒溫長(zhǎng)度10cm)。
  5、塞上兩塊隔熱爐塞,使第二個(gè)爐塞的末端與爐體側(cè)面平齊。
  6、裝上氣爐法蘭,確認(rèn)密封墊落入槽中。
 
  開(kāi)爐:
  1、開(kāi)啟總電源,風(fēng)扇啟動(dòng)。
  2、開(kāi)面板電源(順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)Lock旋鈕),啟動(dòng)面板。
  3、使儀表處于初始狀態(tài)(即PV顯示數(shù)值,SV閃爍顯示Stop),此時(shí)若不處于該狀態(tài),則按向上鍵對(duì)儀表清零,使儀表只處在測(cè)顯狀態(tài)。
  4、按向左鍵1秒,進(jìn)入溫度設(shè)定狀態(tài),通過(guò)按向左鍵移動(dòng)光標(biāo),按向上鍵和向下鍵來(lái)調(diào)節(jié)溫度的設(shè)定數(shù)值。
  5、按回車鍵1秒,進(jìn)入時(shí)間設(shè)定狀態(tài),通過(guò)按向左鍵移動(dòng)光標(biāo),按向上鍵和向下鍵來(lái)調(diào)節(jié)時(shí)間的設(shè)定數(shù)值。
  6、程序后一步為時(shí)間狀態(tài),數(shù)值為-121,以結(jié)束全部程序,按回車鍵確定。
  7、按住向左鍵不放,然后按下回車鍵,則退出程序設(shè)置。
  8、按向左鍵進(jìn)入程序設(shè)定狀態(tài),再連續(xù)按回車鍵檢查設(shè)定的程序是否符合預(yù)定的升降溫曲線。
  9、按住向左鍵不放,然后按回車鍵復(fù)位。
  10、按回車鍵2秒,進(jìn)入基本參數(shù)設(shè)置,連續(xù)按回車鍵檢查基本參數(shù)(n5=389.7,p=15,t=10,ctrl=3,opl=28)。
  11、按住向左鍵不放,然后按回車鍵,復(fù)位、
  12、按回車鍵1秒,檢查是否為STEP1,即程序從步開(kāi)始執(zhí)行。
  13、按住向左鍵不放,然后按回車鍵,復(fù)位。
  14、按向下鍵2秒,SV顯示Run運(yùn)行程序。
  15、按綠色TurnOn鍵,啟動(dòng)加熱電源,觀察電流表、電壓表:(若工作電流超過(guò)150A持續(xù)幾秒鐘,按下Turnoff鍵斷開(kāi)加熱電源,檢查功能參數(shù)的設(shè)定)。
  16、在使用惰性氣體做工作氣體時(shí),升溫過(guò)程中嚴(yán)密注意壓力表,如壓力高于0.08MPa,立即打開(kāi)出口閥放氣。
  17、在使用氫氣做工作氣體時(shí),降溫過(guò)程中要注意監(jiān)視錐形瓶中出氣的情況,如果有倒吸情況,應(yīng)立即逆順時(shí)針調(diào)節(jié)流量計(jì)旋鈕,增加進(jìn)氣量。
  18、操作者在升溫、保溫、降溫過(guò)程中不得離開(kāi),如遇跳閘,要立即合閘供電。
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